技術編號：7340516
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及集成電路封裝設備，特別是指一種電主軸內(nèi)置電機的冷卻裝置及劃片機。背景技術劃片機是集成電路后封裝關鍵設備，其作用是將晶圓分割成單個的電路單元。劃片機一般采用高速空氣靜壓電主軸作為核心執(zhí)行部件，實現(xiàn)高精度的強力磨削加工手段。在這種劃片機中，空氣靜壓電主軸的剛度、旋轉(zhuǎn)精度、輸出功率及可靠性等性能指標直接決定了劃片機的劃切品質(zhì)。隨著集成電路制造業(yè)向高精度和高速度方向的飛速發(fā)展，晶圓劃切質(zhì)量要求越來越高。劃片機工作時，空氣靜壓電主軸高速旋轉(zhuǎn)，安裝在電主軸上...
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