技術(shù)編號：7355490
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明主要涉及一種具有洛侖茲致動器的光刻設(shè)備以及一種洛侖茲 致動器。背景技術(shù)光刻設(shè)備是一種將所需圖案施加到襯底上、通常施加到襯底的目標部分上的機器。光刻設(shè)備例如可用在集成電路(ic)制造中。這種情況下， 可替換地稱作掩?；蜓谀０娴膱D案形成裝置可用于產(chǎn)生將形成在ic的單層上的電路圖案。該圖案可被轉(zhuǎn)移到襯底(例如硅晶片)上的目標部分(例 如包括部分管芯、 一個或幾個管芯)上。圖案的轉(zhuǎn)移通常經(jīng)由成像到提供 在襯底上的輻射敏感材料(抗蝕劑)層上而進行。 一般，單個...
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