技術(shù)編號(hào):7424659
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種可用于半導(dǎo)體加工產(chǎn)業(yè)、高精度繪圖儀等領(lǐng)域的平面電機(jī), 特別涉及一種單動(dòng)子結(jié)構(gòu)的氣磁混合懸浮型六自由度平面電機(jī)。二背景技術(shù)隨著先進(jìn)制造業(yè)的快速發(fā)展,高精度定位平臺(tái)技術(shù)得到了深入的研究和發(fā) 展,在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)、微立體光刻、納米工作臺(tái)、高精度繪圖儀等領(lǐng)域具有廣闊 的應(yīng)用前景,其中最重要的應(yīng)用是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中的高精度光刻定位平臺(tái)。光刻 定位平臺(tái)需在一個(gè)近似平面的空間范圍內(nèi)進(jìn)行精密運(yùn)動(dòng)控制(故被稱為平面電 機(jī)),包括在水平X軸、Y軸方向?qū)崿F(xiàn)大行程運(yùn)動(dòng)(用于...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。