技術(shù)編號(hào)：7426219
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及濺射離子泵用電源，具體涉及基于單端反激式開關(guān)電源原理的濺射離 子泵電源，以及對(duì)真空離子泵電源的工作電流、電壓有實(shí)時(shí)顯示及聯(lián)鎖保護(hù)等功能要求的 應(yīng)用領(lǐng)域。背景技術(shù)濺射離子泵是超高真空獲得系統(tǒng)中使用最多的一種真空泵。內(nèi)部核心部件是陽(yáng)極 和陰極，陽(yáng)極是一種薄壁不銹鋼筒，陰極是分置于陽(yáng)極兩邊的兩塊鈦板，故濺射離子泵簡(jiǎn)稱 鈦泵。其工作時(shí)，由外部永久磁鐵提供一個(gè)磁力線平行于陽(yáng)極筒，強(qiáng)度為1000 1500高斯 的磁場(chǎng)，陽(yáng)極與陰極之間直接加有3 7kV直流高壓...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。