技術(shù)編號(hào)：7432432
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及多軸線性電動(dòng)機(jī)及元件移載裝置，特別是涉及將多個(gè)使可動(dòng)部直線移 動(dòng)的單軸線性電動(dòng)機(jī)組合而成的多軸線性電動(dòng)機(jī)、以及使用多軸線性電動(dòng)機(jī)的元件移載裝置。背景技術(shù)例如，在搬送電子元件等元件的元件移載裝置、用于制造半導(dǎo)體裝置、液晶顯示裝 置等的制造裝置等中，具備將用于吸附保持元件的吸嘴沿上下方向予以驅(qū)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)， 線性電動(dòng)機(jī)作為該驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的構(gòu)成要素而被采用。所述線性電動(dòng)機(jī)的需求年年擴(kuò)大，特別 是高性能的線性電動(dòng)機(jī)的需求高。為了滿足這樣的需求，例如有適合于元...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。