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      一種采用相位檢測實(shí)現(xiàn)射頻電源自動(dòng)跟蹤調(diào)諧的裝置的制作方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):7448724

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      本實(shí)用新型涉及一種射頻電源的調(diào)諧匹配裝置。技術(shù)背景圖1是射頻(簡稱RF)系統(tǒng)中比較常用的射頻源匹配網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)示意圖,在此網(wǎng)絡(luò)中有兩個(gè)可調(diào)電容和一個(gè)電感與負(fù)載一起形成一個(gè)完整的諧振網(wǎng)絡(luò)?,F(xiàn)今國內(nèi)RF電源所采用的調(diào)諧方式大多為手動(dòng)匹配調(diào)諧,即在兩個(gè)可調(diào)電容的軸上安裝兩個(gè)旋鈕,通過操作人員旋轉(zhuǎn)兩個(gè)電容并同時(shí)觀察功率表的指示的方法進(jìn)行負(fù)載的匹配調(diào)諧。缺點(diǎn)操作人員要有較高的調(diào)諧經(jīng)驗(yàn),很難調(diào)整到最佳的工作狀態(tài),調(diào)諧時(shí)間長,無跟蹤功能,當(dāng)匹配狀態(tài)改變時(shí)需操作員及時(shí)調(diào)整。為...
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