技術(shù)編號：7507136
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種采用離子束的壓電諧振子的頻率調(diào)整方法及頻率調(diào)整裝置。背景技術(shù) 以往，作為采用離子束的壓電諧振子的頻率調(diào)整方法，如特開昭63-151103號公報，提出了在陰極上配置多個壓電諧振子，通過使從陽極放出的正氣體離子粒子向陰極移動，均勻地蝕刻壓電諧振子的電極的表面，在進(jìn)行粗調(diào)整后，通過從離子槍對各個壓電諧振子照射離子束，修整電極，而進(jìn)行微調(diào)整的頻率調(diào)整方法。在照射離子束的時候，為了不修整所需部以外的部分，在壓電諧振子的前面配置掩模?？墒?，當(dāng)在襯底基板上...
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該類技術(shù)注重原理思路，無完整電路圖，適合研究學(xué)習(xí)。