技術(shù)編號：7507311
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于聲表面波器件的制造技術(shù)，特別涉一種。背景技術(shù) 聲表面波(SAW)濾波器被廣泛的應(yīng)用于現(xiàn)代通訊系統(tǒng)中。在SAW器件制作過程中，電訊號和聲訊號的轉(zhuǎn)換是由叉指換能器來完成。鋁具有很高的電導(dǎo)率，聲阻抗小，化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定，易于沉積，因而被廣泛用作叉指換能器的材料。工作頻率達(dá)到GHz的SAW濾波器，叉指換能器指條寬度一般為微米或納米量級，如此微細(xì)的電極，需要有強(qiáng)的功率承受力和機(jī)械承受力，因?yàn)樵诟吖β氏聛碜杂诼暠砻娌ǖ闹貜?fù)應(yīng)力會引起Al原子沿著晶界遷移(Al的自...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。
該類技術(shù)注重原理思路，無完整電路圖，適合研究學(xué)習(xí)。