技術編號：7521143
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種具有亞微米間隙的微機械諧振器及制作方法，屬于微機械諧振器 加工及微細加工。背景技術時鐘芯片作為電路系統(tǒng)中的時間基準源，在電路系統(tǒng)中有著重要的作用。傳統(tǒng)的 時鐘芯片一般采用石英晶振作為諧振器產(chǎn)生信號波形。但石英晶振一般是采用切割工藝 制作，因此其體積很難減小，從而阻礙了電路系統(tǒng)的微型化。此外，石英晶振也無法和電路 系統(tǒng)集成制作，提高了制作成本。近年來，由于微加工技術的發(fā)展，MEMS微機械諧振器得到 很大的發(fā)展。MEMS諧振器具有尺寸小、功耗小、...
注意：該技術已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權人授權前，僅供技術研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術人員進行技術研發(fā)參考以及查看自身技術是否侵權，增加技術思路，做技術知識儲備，不適合論文引用。
該類技術注重原理思路，無完整電路圖，適合研究學習。