技術(shù)編號(hào)：7527040
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開了一種微機(jī)械諧振器的振動(dòng)控制方法及微機(jī)械諧振器，包括襯底，以及設(shè)置于襯底上的振動(dòng)結(jié)構(gòu)和驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)；其中，驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)用于驅(qū)動(dòng)微機(jī)械諧振器的振動(dòng)結(jié)構(gòu)往復(fù)運(yùn)動(dòng)，并在振動(dòng)結(jié)構(gòu)往復(fù)運(yùn)動(dòng)的同時(shí)，生成作用在振動(dòng)結(jié)構(gòu)上、且促進(jìn)振動(dòng)結(jié)構(gòu)的往復(fù)運(yùn)動(dòng)的促進(jìn)靜電力，以及生成作用在振動(dòng)結(jié)構(gòu)上、且制約振動(dòng)結(jié)構(gòu)的往復(fù)運(yùn)動(dòng)的制約靜電力，以使得振動(dòng)結(jié)構(gòu)在往復(fù)運(yùn)動(dòng)中由靜電彈簧軟化效應(yīng)產(chǎn)生的頻率偏移和由靜電彈簧硬化效應(yīng)產(chǎn)生的頻率偏移之間相互抵消，進(jìn)而控制微機(jī)械諧振器工作在其固有頻率，提高...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。
該類技術(shù)注重原理思路，無完整電路圖，適合研究學(xué)習(xí)。