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      彈性表面波裝置以及應(yīng)用該裝置的電子部件和復(fù)合模塊的制作方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):7531277

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      本發(fā)明涉及用于通信機(jī)等的彈性表面波裝置以及應(yīng)用該裝置的電子部件。背景技術(shù) 彈性表面波裝置通過(guò)在片狀的壓電襯底的整面上蒸鍍形成金屬層,再在其上涂布抗蝕層,再經(jīng)過(guò)曝光、顯像之后通過(guò)干蝕刻形成所希望的電極圖形,切割成單片制成。用這樣的方法形成的電極的剖面形狀是方形,其側(cè)面對(duì)壓電襯底幾乎垂直、外形急劇變化。這樣的電極端面徒峭,所發(fā)生的彈性表面波在電極端面被反射,難于得到理想的頻率特性。在圖14中表示了針對(duì)該問(wèn)題在特開(kāi)平9-46168號(hào)公報(bào)上公布的現(xiàn)有的彈性表面波裝...
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