技術編號：7534010
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及利用彈性波的諧振器和濾波器等薄膜壓電元件。背景技術 薄膜壓電元件是利用壓電材料進行電信號與彈性波的變換作用、作為諧振器及濾波器而動作的元件。下面，參照附圖說明先有的薄膜壓電元件。圖34和圖35是表示例如由“Fundamental mode VHF/UHF bulk acoustic wave resonators andfilters on silicon”，1980，IEEE，Ultrasonics symposium，PP.829-833(以...
注意：該技術已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權人授權前，僅供技術研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術人員進行技術研發(fā)參考以及查看自身技術是否侵權，增加技術思路，做技術知識儲備，不適合論文引用。
該類技術注重原理思路，無完整電路圖，適合研究學習。