技術(shù)編號：7547041
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及集成電路領(lǐng)域。更具體地，本發(fā)明涉及集成電路中的傳聲器換能器。背景技術(shù)將包括背側(cè)腔的傳聲器換能器集成到集成電路中已成問題。發(fā)明內(nèi)容一種集成到集成電路中的電容性傳聲器換能器包括固定板以及形成在該集成電路的互連區(qū)域之中或之上的膜。一種形成該電容性傳聲器換能器的工藝包括穿過固定板蝕刻接入槽；形成背腔；形成犧牲材料的犧牲填充區(qū)域；以及從集成電路的背側(cè)去除一部分犧牲材料。 附圖說明參考附圖描述示例性實(shí)施例，其中圖1A-1G是示出根據(jù)示例性實(shí)施例包括電容性傳聲...
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