技術(shù)編號：7746694
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種，特別涉及一種基于半導(dǎo)體材料的麥克風(fēng)的制 造方法。背景技術(shù)目前基于半導(dǎo)體材料的中都是通過在硅基板上層積多晶硅而 形成薄膜和背極板，由于多層結(jié)構(gòu)沉積，退火等工藝導(dǎo)致薄膜和背極板應(yīng)力很難控制，因此 靈敏度和一致性很難得到改善。因此，有必要提供一種改進的，滿足應(yīng)用的需求。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于提供一種靈敏度高、一致性好的。本發(fā)明的目的是這樣實現(xiàn)的一種，該方法包括如下步驟步驟一提供一個第一單晶硅襯底，所述第一單晶硅襯底包括第一表面和與第一 表面相對...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。