技術(shù)編號(hào)：7909513
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及一種麥克風(fēng)構(gòu)件，包括微機(jī)械地實(shí)現(xiàn)的麥克風(fēng)電容器；在聲學(xué)上不活躍的補(bǔ)償電容器；用于將高頻的取樣信號(hào)施加到麥克風(fēng)電容器上以及用于將顛倒的取樣信號(hào)施加到補(bǔ)償電容器上的器件；積分運(yùn)算放大器，它作為電荷放大器對(duì)通過(guò)麥克風(fēng)電容器的電流和通過(guò)補(bǔ)償電容器的電流的和求積分；用于積分運(yùn)算放大器的輸出信號(hào)的與取樣信號(hào)同步化的解調(diào)器；以及低通濾波器，用以由解調(diào)器的輸出信號(hào)獲得與麥克風(fēng)電容器的電容變化相應(yīng)的麥克風(fēng)輸出信號(hào)。本發(fā)明另外涉及一種用于運(yùn)行這樣的麥克風(fēng)構(gòu)件的方法。 背景技術(shù)電容式MEMS (微電機(jī)系統(tǒng))麥克風(fēng)在極不...
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