技術(shù)編號：8022723
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及掩模、掩模的制造方法、電光學(xué)裝置的制造方法和電子設(shè)備。背景技術(shù) 作為電光學(xué)裝置之一的有機(jī)EL(電致發(fā)光)屏由具有層疊了薄膜的結(jié)構(gòu)的自發(fā)光型高速響應(yīng)顯示元件構(gòu)成。因此，有機(jī)EL屏能夠構(gòu)成輕型動態(tài)圖像性能優(yōu)良的顯示裝置，作為近年平板顯示(FPD)電視等的顯示屏，其非常引人注目。在Appl，Phys，Lett，Vol，51，No.12，p.p.913-914，(1987)中公開了有機(jī)EL屏的典型制造方法。即，通過使用光刻技術(shù)以希望形狀對ITO(氧化銦錫)等透明陽極圖案化，在該圖案上用真空蒸鍍裝置成膜有機(jī)...
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