国产精品1024永久观看,大尺度欧美暖暖视频在线观看,亚洲宅男精品一区在线观看,欧美日韩一区二区三区视频,2021中文字幕在线观看

  • <option id="fbvk0"></option>
    1. <rt id="fbvk0"><tr id="fbvk0"></tr></rt>
      <center id="fbvk0"><optgroup id="fbvk0"></optgroup></center>
      <center id="fbvk0"></center>

      <li id="fbvk0"><abbr id="fbvk0"><dl id="fbvk0"></dl></abbr></li>
      等離子處理方法及等離子處理裝置的制作方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):8030300

      提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。

      技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及一種對(duì)半導(dǎo)體元件、搭載半導(dǎo)體芯片的基板、布線基板、 平板型顯示裝置基板等電子裝置的基板或被處理物實(shí)施等離子處理的方 法及其處理裝置、利用該等離子處理制造電子裝置的制造方法。背景技術(shù)以往,在利用等離子對(duì)硅半導(dǎo)體等被處理物表面進(jìn)行氧化、氮化、氧 氮化,或在被處理物表面上形成氧化膜、氮化膜、氧氮化膜、聚硅膜、有機(jī)EL膜等,或蝕刻被處理表面之際的等離子處理中,利用單一的稀有氣 體產(chǎn)生等離子。作為稀有氣體,為了減小對(duì)被處理物的等離子損傷,從而 采用與電子的碰撞截面積大、等離子的電子溫度低的氪(Kr)氣和氙(...
      注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
      該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

      詳細(xì)技術(shù)文檔下載地址↓↓

      提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。
      該分類下的技術(shù)專家--如需求助專家,請(qǐng)聯(lián)系客服
      • 霍老師:1. 木質(zhì)纖維組分高效分離及高值化轉(zhuǎn)化 2.(納米)纖維素功能材料
      • 楊老師:生物質(zhì)資源利用與制漿技術(shù)
      • 崔老師:1. 印刷電子 2. 仿生圖案化功能結(jié)構(gòu)
      • 劉老師:1.生物質(zhì)纖維及其功能材料 2.紙基功能材料
      • 劉老師:1. 納米基復(fù)合功能膠體油墨的設(shè)計(jì)制備 2. 可穿戴功能(光電、電子、傳感、儲(chǔ)能等)器件的設(shè)計(jì)構(gòu)建 3. 基于3D打印的功能器件的構(gòu)建及集成
      • 李老師:1. 木質(zhì)生物質(zhì)轉(zhuǎn)化利用 2. 綠色包裝材料
      • 王老師:1.生物質(zhì)資源清潔轉(zhuǎn)化利用 2.木質(zhì)素化學(xué)及其高值化 3.木質(zhì)素基復(fù)合材料
      • 楊老師:1. 溶解漿及人造纖維 2. 生物質(zhì)微納米纖維及其功能材料 3. 高性能纖維紙基功能材料