技術(shù)編號：8050146
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及流化床反應(yīng)器。背景技術(shù)高純度多晶硅作為可在半導(dǎo)體元件或太陽能電池中使用的材料，被廣泛使用。為制造這種多晶硅，使用的是硅析出方法，通過對含硅的反應(yīng)氣體進(jìn)行熱分解及氫還原反應(yīng)，使娃析出。為進(jìn)行多晶硅的大量生產(chǎn)，需要比實(shí)驗(yàn)室中使用的流化 床反應(yīng)器尺寸和高度更大的流化床反應(yīng)器。因此，可批量生產(chǎn)多晶硅的流化床反應(yīng)器重量非常重，體積也很大，導(dǎo)致流化床反應(yīng)器組裝、安裝及維護(hù)困難。因此，針對易于組裝、安裝及維護(hù)、可大量生產(chǎn)多晶硅的流化床反應(yīng)器的研究如火如荼。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于提供一種可均勻地供應(yīng)硅析出所需的...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。