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      氧化硅玻璃坩堝的制作方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):8052180

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      技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及一種適用于單晶硅的制造的氧化硅玻璃坩堝,具體而言,涉及一種能夠抑制加熱引起的變形的氧化硅玻璃坩堝。背景技術(shù)半導(dǎo)體單晶硅,一般通過(guò)從加熱熔化作為原料的多晶硅而得的硅熔液中提拉單晶的切克勞斯基法(CZ法)等來(lái)制造,并且為熔化、貯存該多晶硅,而用上面開(kāi)口的碗狀氧化硅玻璃坩堝。氧化硅玻璃坩堝以天然氧化硅粉和合成氧化硅粉為原料制造。該種氧化硅玻璃坩堝,一般是由性質(zhì)不同的多個(gè)層所構(gòu)成,例如內(nèi)周面由含有較少氣泡的透明氧化硅玻璃層(以下,稱(chēng)作“透明層”),外周面為含有較多氣泡的氧化硅玻璃層(以下,稱(chēng)“含氣泡層”)...
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