技術編號：8052550
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。技術領域本發(fā)明涉及直拉硅單晶生長領域，尤其涉及一種。背景技術直拉硅單晶生長爐的組成如圖1所示，主要由四部分組成(一)爐體包括石英坩堝7、石墨坩堝8(用來支撐石英坩堝)、加熱器9及隔熱體10、爐體16、保溫罩20，爐體16內(nèi)這些影響傳熱及溫度分布的部件，一般稱為熱場，熱場一般用所用的石英坩堝外徑來表征，石英坩堝一般用其外徑來表示，現(xiàn)在常用的有18英寸、20英寸、 22英寸、M英寸、觀英寸、32英寸的石英坩堝，對應的熱場尺寸分別是18英寸、20英寸、22 英寸、M英寸、觀英寸、32英寸的熱場；(二)單晶提升旋轉機構包括...
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