技術(shù)編號:8057082
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本實(shí)用新型涉及一種坩堝下降法單晶生產(chǎn)車間有毒污染空氣置換裝置,屬于C30B 單晶生長領(lǐng)域。背景技術(shù)坩堝下降單晶生長法是一種常用的單晶生長方法。用于單晶生長用的材料裝在圓柱型的坩堝中,緩慢地下降,并通過一個具有一定溫度梯度的加熱爐,爐溫控制在略高于材料的熔點(diǎn)附近。根據(jù)材料的性質(zhì)加熱器件可以選用電阻爐或高頻爐。在通過加熱區(qū)域時,坩堝中的材料被熔融,當(dāng)坩堝持續(xù)下降時,坩堝底部的溫度先下降到熔點(diǎn)以下,并開始結(jié)晶, 單晶隨坩堝下降而持續(xù)長大。坩堝下降法單晶生產(chǎn)車間通常用來生產(chǎn)大尺寸的工業(yè)用途的大單晶,關(guān)于這一點(diǎn),對于...
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