技術(shù)編號：8059035
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。技術(shù)領(lǐng)域本實用新型為一種電源結(jié)構(gòu)，特別涉及一種制作石英坩堝的熔煉電源升降一體結(jié)構(gòu)，屬于升降設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。背景技術(shù)用電弧法制的半透明石英坩堝是拉制大直徑單晶硅，發(fā)展大規(guī)模集成電路必不可少的基礎(chǔ)材料，是作為太陽能、半導(dǎo)體行業(yè)切克拉斯基法(cz)拉制單晶硅必不可少的容器。石英坩堝的制作是使用電弧石英坩堝工藝，而其中熔煉電源是必不可少的，通過調(diào)節(jié)熔煉電源來控制電極，從而精確控制熔制溫度。熔煉電源一般有3個，在通常的設(shè)備配置中， 對每個熔煉電源都需要單獨配置馬達，在操作熔煉電源時，不能同時調(diào)節(jié)，造成調(diào)節(jié)尺度有一定的誤差，使電...
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