技術(shù)編號(hào)：8070686
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。專利摘要本發(fā)明提供一種，該石英坩鍋脫模阻隔劑包含99wt%以上的氮化硅(Si3N4)，以及小于1wt%的雜質(zhì)，又在氮化硅(Si3N4)中，β相的氮化硅所占的比例為60%～99%，該方法包含混合步驟、噴涂步驟以及成膜步驟，將多個(gè)脫模阻隔劑的粉末與水充分混合成懸浮溶液、接著噴涂在石英坩鍋的表面，最后行烘烤，將石英坩鍋的表面的水分去除，使所述脫模阻隔劑的粉末在該石英坩鍋的表面形成一脫模層，藉由采用高含量的β相的氮化硅(Si3N4)，能在高溫時(shí)具有穩(wěn)定的結(jié)構(gòu)，而使得脫模層不易裂解，同時(shí)也避免了石英坩鍋中的雜質(zhì)擴(kuò)散至多晶硅中...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。