技術(shù)編號：8072066
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。專利摘要本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，旨在提供。該區(qū)熔爐多晶棒保溫裝置包括設(shè)置在多晶棒外部的輔助加熱器，輔助加熱器的兩個端部分別設(shè)有接口，接口通過電纜與輔助加熱電源相連，輔助加熱電源通過信號線依次連接有數(shù)據(jù)分析模塊和紅外測溫儀；利用該區(qū)熔爐多晶棒保溫裝置對多晶棒進行保溫時，紅外測溫儀實時監(jiān)測多晶棒下端的溫度，數(shù)據(jù)分析模塊通過內(nèi)置的判斷模塊來控制輔助加熱電源施加在輔助加熱器上的電流大小。本發(fā)明對多晶棒實現(xiàn)保溫，而省去對多晶棒的緩慢冷卻和預(yù)熱過程，一次可節(jié)省生產(chǎn)時間一個小時以上，節(jié)約電能，并降低多晶棒開裂的風(fēng)險。專利說明技...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。