技術編號：8088950
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。技術領域本實用新型涉及一種通過電極放電使凈化室內(nèi)的空氣(air)離子化且利 用該離子中和被處理物表面所帶的靜電的離子發(fā)生器(除靜電器)、將離子 發(fā)生器安裝在空氣凈化單元(空氣凈化器)的空氣噴出口之前的安裝方法， 以及利用這些離子發(fā)生器和空氣凈化單元凈化凈化室內(nèi)部區(qū)域的凈化室系 統(tǒng)。背景技術在半導體和液晶等的制造中，為了提高制造上的成品率等，要求從這些 器件周邊的空氣中除去灰塵，以使空氣變成凈化(清潔)的空氣。因此，在 制造這些器件時，通常，在被控制為潔凈的空氣環(huán)境的凈化室或凈化容器等 (將這些總稱為凈化室)內(nèi)進行制...
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