技術(shù)編號：8090709
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。專利摘要本發(fā)明提供一種等離子體處理裝置，其將從至少兩個高頻電源分別向上部電極和/或下部電極供給與等離子體相關(guān)的高頻電力，可靠地檢測反射波的變動，將異常放電發(fā)生防患于未然。閾值設(shè)定部（123）在來自第二高頻電源部（75）的高頻的供給穩(wěn)定后，在時刻（T3）在第一高頻電源部（65）和第二高頻電源部（75）中，將遮斷用閾值的電平均切換為相對低的電平。該遮斷用閾值的相對低的電平在第一高頻電源部和第二高頻電源部中，均從相同的時間繼續(xù)。在時刻（T4），由第一高頻電源部開始第一次的電力供給的增加時，閾值設(shè)定部重新設(shè)定遮斷用閾值，分...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。