技術(shù)編號：8091774
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。專利摘要本發(fā)明涉及使用電壓控制模式進行室匹配，具體描述了用于補償在等離子體室中的等離子體處理期間產(chǎn)生的諧波的系統(tǒng)和方法。所述方法之一包括檢索組合波形的測量。所述組合波形包括基本波形和諧波波形。所述組合波形限定靠近吸盤的表面的電壓，所述吸盤連接到射頻（RF）傳輸線。所述射頻傳輸線連接到阻抗匹配電路。阻抗匹配電路連接到射頻發(fā)生器。所述方法進一步包括從所述組合波形提取所述基本波形；確定所述組合波形的幅值與所述基本波形的幅值之間的差值；并且控制所述射頻發(fā)生器以補償所述差值。專利說明使用電壓控制模式進行室匹配 技術(shù)領(lǐng)域 ...
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