技術(shù)編號:8098757
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。專利摘要本發(fā)明公開了一種晶體硅定向凝固生長設(shè)備,包括融化爐室,融化爐室上端設(shè)有進料口,進料口處設(shè)有進料閥門,進料閥門的下端且位于融化爐室內(nèi)設(shè)有熔料坩堝,熔料坩堝四周設(shè)有加熱器一,位于熔料坩堝中部下端設(shè)有硅液流動口,硅液流動口區(qū)域設(shè)有硅液流量控制閥或硅液流量控制桿,硅液流動口下端設(shè)有硅液噴灑器,硅液噴灑器下方設(shè)有硅錠定向凝固系統(tǒng),定向凝固系統(tǒng)包括控制溫度梯度加熱器、設(shè)置在加熱器下方的硅錠支撐托盤以及用以約束液態(tài)硅的電磁感應(yīng)器。本發(fā)明的有益效果為通過本裝置和技術(shù),使得硅料融化和晶體生長同時進行,極大降低了能耗,并降低了...
注意:該技術(shù)已申請專利,請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。