技術(shù)編號(hào)：8106416
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。專利摘要本實(shí)用新型涉及一種化合物半導(dǎo)體生長裝置，屬于半導(dǎo)體材料生長工藝技術(shù)領(lǐng)域。其特征是至少包括爐架、生長爐體、裝載生長材料的石英坩堝、坩堝移動(dòng)機(jī)構(gòu)、上下恒溫電阻絲加熱爐、電阻絲、生長爐移動(dòng)機(jī)構(gòu)，生長爐體在爐架上平面內(nèi)放置，生長爐體為一側(cè)開口的管狀結(jié)構(gòu)，上下恒溫電阻絲加熱爐也為管狀結(jié)構(gòu)，上下恒溫電阻絲加熱爐外徑小于生長爐體的內(nèi)徑，可使上下恒溫電阻絲加熱爐在生長爐體內(nèi)移動(dòng)；在上下恒溫電阻絲加熱爐一側(cè)連接有生長爐移動(dòng)機(jī)構(gòu)；上下恒溫電阻絲加熱爐中心管道與坩堝移動(dòng)機(jī)構(gòu)活動(dòng)連接，坩堝移動(dòng)機(jī)構(gòu)放置石英坩堝。該裝置能實(shí)現(xiàn)化合物晶...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。