技術(shù)編號：8107808
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及軟X線發(fā)生裝置及用于從帶電的物體除去靜電的除電裝置。 背景技術(shù)例如在半導體器件或FPD用玻璃基板、其它電子部件的制造裝 置、制造線上，為了從這些電子部件除去靜電，而對這些電子部件或 該基板照射長波段(低能帶)的X線即波長為1埃(A) ~數(shù)百埃的 軟X線。在照射上述那樣的軟X線進行除電的除電裝置中，所采用的X線 的發(fā)生方法本身基本上是與以往大致相同的方法。即，在真空氣氛中，將作為電子釋放源的燈絲加熱至數(shù)百。C以上， 且對外圍施加負電壓來釋放電子的方式是一般的發(fā)生方法。由于是在 高溫下釋放電子， 一般...
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