技術(shù)編號(hào)：8108907
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及VPE沉積裝置的源裝置(arrangement)，包括含有液態(tài)或固 態(tài)起始材料(1)并具有頂部開口的容器(2);用于反應(yīng)氣體(4)的供應(yīng)管 線(3 ),所述反應(yīng)氣體(4 )與起始材料(1 )反應(yīng)以產(chǎn)生含有該起始材料的 工藝氣體(5);以及直接置于該起始材料(1 )上的蓋子。此外，本發(fā)明涉及VPE沉積設(shè)備，其包括工藝室和布置在工藝氣體的 流動(dòng)方向上游的源區(qū)，在所述源區(qū)中有用于反應(yīng)氣體的供應(yīng)管線和含有液態(tài) 或固態(tài)起始材料并具有頂部開口的容器。背景技術(shù)從DE 3801147Al中已知一般類型的設(shè)備。其中...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。