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      等離子體處理設備及其射頻匹配網絡的制作方法技術資料下載

      技術編號:8121291

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      技術領域本發(fā)明涉及微電子技術領域,特別涉及一種用于等離子體處理設 備的射頻匹配網絡。本發(fā)明還涉及一種包括上述射頻匹配網絡的等離 子體處理設備。技術背景等離子體處理設備是在半導體制造領域得到廣泛應用的加工設 備。不同的等離子體處理設備之間存在較大的差異(該差異通常表現(xiàn) 在射頻電源的數(shù)目、具體結構形式等方面),下面僅以其中一種為例對 其進行簡要介紹。請參考圖1,圖1為現(xiàn)有技術中一種典型的等離子體處理設備的 結構示意圖。等離子體處理裝置通常包括殼體(圖中未添加附圖標記),其中具有反應腔室11。反應腔室11的頂部設有無源電...
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