技術編號：8133214
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。技術領域本實用新型涉及一種限位裝置，具體涉及一種單晶爐限位裝置。背景技術單晶爐是單晶體的生長設備，目前較常用的則是提拉法單晶爐。 一般在單晶爐的 爐室和籽晶旋轉部件之間起過渡作用的過渡副室中設有限位機構，實現(xiàn)籽晶提拉的上限 位，以保護籽晶提拉裝置不受損害。目前多使用紅外限位裝置，該限位裝置雖然使得籽晶提 拉裝置定位精確，但其成本高，還有采用機械結構的限位機構，雖然該機構可以實現(xiàn)定位精 確，且成本低，但缺少密封部件，外界雜質容易侵染機構內部，且若外界空氣通過限位機構 進入爐室內則會影響單晶爐爐室內的真空度，進而影響單...
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