技術(shù)編號(hào)：8136013
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本實(shí)用新型公開(kāi)了一種氫化爐，具體地說(shuō)涉及一種處理多晶硅生產(chǎn)過(guò)程中的四氯 化硅尾料的氫化爐，屬于多晶硅技術(shù)領(lǐng)域。背景技術(shù)我國(guó)多晶硅生產(chǎn)的主要工藝是“改良西門(mén)子法”氯化氫和工業(yè)硅粉在一定溫度下 合成三氯氫硅，然后對(duì)三氯氫硅進(jìn)行分離精餾提純，提純后的高純?nèi)葰涔枧c氫氣按比例 混合后通入多晶硅還原爐內(nèi)，在一定的溫度和壓力下，在通電高溫硅芯上進(jìn)行沉積反應(yīng)生 成多晶硅，同時(shí)生成四氯化硅、二氯二氫硅、氯化氫等副產(chǎn)物。在改良西門(mén)子法生產(chǎn)多晶硅 的過(guò)程中，勢(shì)必產(chǎn)生大量的SiCl4,—般情況下，每生產(chǎn)Ikg多晶硅產(chǎn)品，大約會(huì)產(chǎn)...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。