技術(shù)編號(hào):8143292
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及一種氣相沉積系統(tǒng)、一種制造發(fā)光裝置的方法以及一種發(fā)光裝置。 背景技術(shù)通常,發(fā)光二極管(LED)是這樣一種半導(dǎo)體發(fā)光裝置,即,當(dāng)向該半導(dǎo)體發(fā)光裝置施加電流時(shí),該半導(dǎo)體發(fā)光裝置通過(guò)電子和空穴在P型半導(dǎo)體和η型半導(dǎo)體之間的Ρ-Π結(jié)中復(fù)合來(lái)發(fā)射各種顏色的光。因?yàn)樵揕ED具有各種優(yōu)點(diǎn),例如長(zhǎng)壽命、低功耗、良好的初始驅(qū)動(dòng)性能、高抗振性等,所以當(dāng)與基于燈絲的發(fā)光裝置相比時(shí),對(duì)LED的需求持續(xù)增加。具體地說(shuō),近來(lái),能夠發(fā)射短波區(qū)域中(例如,一系列藍(lán)色)的光的III族氮化物半導(dǎo)體備受關(guān)注。使用III族氮化物半導(dǎo)體形...
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