技術(shù)編號(hào)：8143810
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及一種使用高頻對(duì)被處理體實(shí)施等離子處理的等離子處理裝置，特別是 涉及一種具有如下濾波器的等離子處理裝置，該濾波器用于阻斷從處理容器內(nèi)的高頻電極 和其他電子構(gòu)件進(jìn)入到供電線、信號(hào)線等線路中來的高頻噪聲。背景技術(shù)在使用等離子體制造半導(dǎo)體器件或FPD (Flat Panel Display，平板顯示器)的微 細(xì)加工中，控制被處理基板(半導(dǎo)體晶圓、玻璃基板等)上的等離子體密度分布、以及控制 基板的溫度或溫度分布是非常重要的。若未能適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行基板的溫度控制，則無法確?；?板表面的反應(yīng)乃至工藝特性的均勻性，會(huì)降...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。