技術(shù)編號:8149641
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。技術(shù)領域本實用新型涉及半導體生產(chǎn)設備,特別涉及一種高低速電機二合一籽晶頭。 背景技術(shù)籽晶頭部件是提拉式單晶爐最為重要的組成部分,安裝在單晶爐上爐筒的頂端, 主要實現(xiàn)高低速籽晶升降與旋轉(zhuǎn)功能。單晶硅棒拉制的好壞與籽晶頭部件有著直接的聯(lián) 系。在技術(shù)高速發(fā)展的今天,時間就是金錢,效率就是生命。單晶爐行業(yè)對籽晶頭的要求也 越來越高,許多用戶對單晶硅的提拉速度和轉(zhuǎn)速也越來越高,且要求物美價廉。目前大部分 單晶爐產(chǎn)品的籽晶頭結(jié)構(gòu)較為復雜,高低速功能各分別有一個電機及模塊控制,控制模塊 復雜。目前使用的籽晶頭結(jié)構(gòu)外形較大,動平衡...
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