技術(shù)編號：8151265
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本實用新型涉及多晶硅鑄錠領(lǐng)域，尤其涉及一種減少粘堝的坩堝。技術(shù)背景[0002]在多晶爐鑄錠時，通常采用陶瓷坩堝或石英坩堝來盛裝熔融硅液，使得熔融硅液在坩堝中冷卻、退火和結(jié)晶。然而坩堝本體的主要成分二氧化硅可與熔融硅液中的硅發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，引起粘堝現(xiàn)象發(fā)生，導(dǎo)致脫模困難甚至硅錠和坩堝破裂，以及相關(guān)化學(xué)反應(yīng)的產(chǎn)物和坩堝本體中存在的雜質(zhì)將對熔融硅液造成污染。因此，多數(shù)的坩堝本體91內(nèi)側(cè)壁附著有一層氮化硅層92作為保護層(如圖I和圖2所示)，用以隔斷熔融硅液與坩堝本體側(cè)壁的直接接觸。氮化硅層是由氮化硅粉體以及溶劑混合...
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