技術(shù)編號：8167490
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。技術(shù)領(lǐng)域本實用新型涉及單晶硅制備裝置，具體而言，涉及一種單晶爐高溫計安裝結(jié)構(gòu)及包括該結(jié)構(gòu)的單晶爐。背景技術(shù)單晶爐是在惰性氣體環(huán)境中，采用加熱器，將硅材料熔化，并采用直拉法生長無位錯單晶的設(shè)備。高溫計一般指測量溫度高于500°C所使用的溫度計。在單晶爐運行時，需要利用高溫計對單晶爐熱場的溫度信號進行采集，并通過與高溫計連接的光纖數(shù)據(jù)傳輸線，將采集到的溫度信號反饋到可編程邏輯控制器中，以實現(xiàn)單晶爐熱場溫度的自動化控制。而高溫計與單晶爐的連接是通過支架實現(xiàn)的。傳統(tǒng)的支架，一般是固定設(shè)置在單晶爐的爐壁上的中空套管，中空套管...
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