技術編號:8168290
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。技術領域本實用新型涉及一種晶體生長爐用高溫隔熱裝置。背景技術以剛玉(藍寶石)為例,其主要成分是氧化鋁(A1203),其熔點為2050°C,所以對剛玉單晶的生長爐熱防護隔熱屏的穩(wěn)定性能、耐高溫性能要求極高。目前生產(chǎn)過程中普遍使用的隔熱屏為石墨炭氈隔熱屏,這種隔熱屏在使用過程中碳揮發(fā)后會進入晶體內部而造成碳污染,雖然可以通過隨后的退火工藝消除晶體中的碳雜質,但是該生產(chǎn)工序復雜因而加工成本較高,而且由于退火工藝無法消除碳雜質留下的原子缺位,使得晶體的品質較低,近年已經(jīng)逐漸被市場淘汰。中國實用新型專利公開文件CN20221...
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