技術(shù)編號：8194746
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及半導(dǎo)體材料制造工藝技術(shù)，具體涉及一種生長III - V或II -VI族化合物半導(dǎo)體外延薄膜或者低維結(jié)構(gòu)材料的液相外延設(shè)備及控制方法。背景技術(shù)液相外延技術(shù)(LPE technique)是一種成熟的III - V和II - VI材料生長技術(shù)，近平衡態(tài)生長提高外延層材料的純度，生長的材料具有高的遷移率和熒光效率；沿外延襯底定向生長提供了高質(zhì)量外延層，材料致密，應(yīng)力能小，構(gòu)建的光電器件暗電流?。粨诫s劑可選的范圍廣，材料沉積效率高，外延生長費用低，這些優(yōu)點伴隨著開發(fā)不同的材料結(jié)構(gòu)和新、型器件已經(jīng)有40年了。...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。