技術(shù)編號：8195736
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及單晶硅制備領(lǐng)域，具體屬于單晶爐用均熱式加熱系統(tǒng)。背景技術(shù)當(dāng)前，硅材料在半導(dǎo)體領(lǐng)域和太陽能領(lǐng)域仍然占據(jù)著主要地位。隨著科技的發(fā)展和技術(shù)的進(jìn)步，集成電路和太陽能電池生產(chǎn)工藝都對硅材料提出了新的要求，大直徑、高質(zhì)量硅單晶的生長技術(shù)成為當(dāng)前半導(dǎo)體材料領(lǐng)域和太陽能領(lǐng)域的研發(fā)熱點。近年來，硅材料加工技術(shù)取得了許多重要進(jìn)展。硅晶體生長方面最重要的進(jìn)展之一是12英寸硅單晶生長技術(shù)已經(jīng)成熟。世界主要硅單晶生產(chǎn)商，包括信越，SUMCO, MEMC,瓦克等均采用適合于12英寸硅單晶生長的單晶爐，大都采用磁場直拉法，每爐...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。