技術(shù)編號:8201901
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明是關(guān)于放射紫外線等光的光源裝置的點燈控制方法及光源裝置,尤其是關(guān)于可對應(yīng)于光源的光輸出的隨著時間經(jīng)過而變化,對供給至光源的電力進(jìn)行控制,此外,可利用被設(shè)置在光源的IC標(biāo)簽所存儲的數(shù)據(jù),來校正由用于檢測光源照度的檢測單元輸出的數(shù)據(jù)的光源裝置的點燈控制方法及光源裝置。背景技術(shù)uv/o3洗凈法是作為將紫外線與屬于活性氧種的臭氧(03)加以組合的洗凈方法而廣泛使用,其目的是例如通過在LCD用基板或半導(dǎo)體基板表面照射紫外線,將附著在該等基板表面的有機(jī)化合物等分子鍵結(jié)切斷,從而去除附著在基板表面的有機(jī)化合物等雜質(zhì)...
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