技術(shù)編號：8201904
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及工藝裝備及其制造方法，具體涉及一種單晶硅拉制爐及多晶硅 冶煉爐用的支撐坩堝及其制備。背景技術(shù)單晶硅是半導體工業(yè)最重要的主體材料之一，現(xiàn)今95%以上的集成電路芯片 和各類半導體器件都是由硅片制造的。多晶硅是生產(chǎn)單晶硅的原料，也是生產(chǎn) 太陽能電池板的主要材料之一。在單晶硅拉制及多晶硅冶煉(如鑄錠法或者其 他物理方法)過程中為了防止硅與石墨發(fā)生反應必須使用石英玻璃坩堝，將原 料放置在石英玻璃坩堝內(nèi)。由于石英玻璃坩堝在高溫時會軟化變形，因此又必 須使用支撐坩堝來保持石英玻璃坩堝的形狀。現(xiàn)在廣泛使用的是進口...
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