技術(shù)編號：8203951
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明屬于單晶設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種直拉單晶爐熱場用石墨堝幫。 背景技術(shù)直拉單晶爐熱場中，石墨堝幫是用來支撐和保護盛裝多晶硅原料的石英坩堝的裝置，一 般由側(cè)板及堝托組成。在直拉法(切克勞斯基法)工藝中，石英坩堝被放置于石墨堝幫構(gòu)成 的半球形空間內(nèi)，然后再將多晶硅原料裝入石英坩堝中，加熱熔化。在整個拉晶過程中，爐 內(nèi)溫度達150(TC-160(rC，石英坩堝在高溫下會軟化，而由側(cè)板及堝托組成的石墨堝幫起到支撐石英坩堝及熔硅的作用，由于受重力、離心力、熱應(yīng)力的影響，當(dāng)石英坩堝在高溫下軟 化時，石墨堝幫也同時會產(chǎn)...
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