技術(shù)編號:8205678
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本實(shí)用新型涉及一種單晶爐傳動部件。背景技術(shù)單晶爐是單晶體的生長設(shè)備,其最重要的部分即是機(jī)械傳動部分。目前較常用的 則是提拉法單晶爐,對于其傳動部分中坩堝桿的旋轉(zhuǎn)的穩(wěn)定性、精度要求較高,而單晶體被 提拉的過程中會產(chǎn)生一些氧化物或雜質(zhì),這些氧化物、雜質(zhì)如不進(jìn)行清理,或者采取某種措 施,很容易堵塞坩堝桿與其外圍配合件之間的縫隙,甚至進(jìn)入坩堝桿的主要傳動配件如軸 承的縫隙,從而影響坩堝桿的旋轉(zhuǎn)精度。實(shí)用新型內(nèi)容為解決上述問題,本實(shí)用新型提供一種單晶爐傳動部件,可以盛接氧化物、雜質(zhì), 避免雜質(zhì)對坩堝桿的轉(zhuǎn)動造成影響,...
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