技術(shù)編號:8243057
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。 由于鐵電體特殊的介電、電光、聲光、光折變、非線性光學(xué)、熱釋電和壓電性能,是一種極具商業(yè)應(yīng)用前景的材料,因此鐵電體的應(yīng)用很早就引起了物理學(xué)界和材料科學(xué)界的注意。七十年代以來,由于對鐵電體認(rèn)識的深入,人工鐵電材料種類的擴(kuò)大,微電子集成技術(shù)的進(jìn)步,特別是隨著鐵電薄膜制備技術(shù)的一系列突破,成功地制備出性能優(yōu)良的鐵電薄膜,工作電壓可在3-5V,可與Si或GaAs電路集成,鐵電薄膜制備工藝與集成電路工藝兼容成為可能,極大地促進(jìn)了鐵電薄膜的制備與器件應(yīng)用研究的發(fā)展,...
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