技術(shù)編號：8248312
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。 多晶硅鑄錠制備過程中，石英坩堝是其必備的容器，多晶硅錠生產(chǎn)過程中，硅料在 坩堝內(nèi)熔化、晶體生長、退火冷卻，單一使用石英坩堝將面臨以下危害 ①使用壽命短、安全性差硅熔體和石英坩堝長時(shí)間接觸時(shí)，會產(chǎn)生黏滯性，Si與SiO2 反應(yīng)生成SiO而使得坩堝變薄甚至開裂，導(dǎo)致硅液溢流等重大損失，降低使用壽命、安全性 差。 ②硅錠利用率低坩堝與硅液產(chǎn)生黏滯，在硅錠冷卻過程中，由于兩者的熱膨脹系 數(shù)不同而導(dǎo)致坩堝與硅錠的破裂，致使硅錠的利用率差，同時(shí)可利用的硅塊可能由于殘...
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