技術(shù)編號(hào):8262104
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種形成減薄的經(jīng)封裝的芯片結(jié)構(gòu)的方法,一種形成減薄的經(jīng)封裝的半導(dǎo)體器件的方法,一種形成減薄的經(jīng)封裝的電子芯片的方法,以及一種經(jīng)封裝的芯片結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)在許多中,使用被封裝在封裝結(jié)構(gòu)內(nèi)的電子芯片。存在持續(xù)的趨勢以提供具有非常小厚度的電子芯片,例如用于功率應(yīng)用。然而,精確地減薄晶片電子芯片并且處理它們以用于封裝和后續(xù)工藝處理是一個(gè)挑戰(zhàn)。發(fā)明內(nèi)容在減薄的電子芯片或晶片的處理期間,可能需要以高精度執(zhí)行對(duì)電子芯片或晶片的減薄而不具有質(zhì)量退化的風(fēng)險(xiǎn)。根據(jù)示例...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。