技術(shù)編號(hào)：8262236
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。隨著電子科技發(fā)展，硅晶片被大量運(yùn)用，硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅晶片需要通過二氧化硅礦石經(jīng)由電弧爐提煉，鹽酸氯化，并經(jīng)蒸餾后，制成了高純度的多晶硅而成。而在加工硅晶片過程中需要使用到晶片托盤用于運(yùn)載和冷卻加工完成的晶片，但目前使用的晶片盒，取放晶片不方便，冷卻效果差，阻礙生產(chǎn)流程過程中晶片的運(yùn)載管理，且不能連續(xù)運(yùn)用于晶片的生產(chǎn)和清洗作業(yè)，降低了工作效率。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明主要解決的技術(shù)問題是提供一種晶片冷卻托盤，能夠冷卻托載晶片，同時(shí)便于運(yùn)輸，夾放拿取方便，極...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。